В процессе деионизации вода подвергается глубокой очистке, чтобы уровень сопротивления составлял 16–18 МОм/см, электропроводность — менее 1 мкСм/см. Такую жидкость применяют для стерилизации, дезинфекции, исследований в медицинских и фармацевтических лабораториях.

Процесс очистки выполняется с помощью деионизатора воды — прибора, действующего методом двухуровневой очистки.